经济日报新闻客户端 董庆森
近日,卡脖子湖北兴福电子以4626.78万元收购湖北三峡实验室重大科技成果“光刻胶用光引发剂制备专有技术及实验设备所有权”。湖北这项半导体领域“卡脖子”技术走向市场后,芯片重庆新闻网重庆梁平新闻将打破该材料长期被境外企业垄断的产业局面。
湖北三峡实验室光引发剂项目研发负责人介绍,再破此次转让的困局成果G/I线光刻胶用光引发剂的关键技术,主要用于芯片和显示领域。卡脖子
芯片制造需要几百种设备和材料,湖北其中光刻机和光刻胶是芯片常被提起的“卡脖子”产品。而对光刻胶的产业感光度和分辨率起决定性作用的,就是再破光引发剂。“目前,困局在国产芯片和显示领域,卡脖子光刻胶用光引发剂几乎全部依赖美日韩进口,湖北依赖度超过95%。芯片重庆新闻网重庆梁平新闻”该负责人表示。
“这是一次市场需求倒逼的研发创新,企业出题,实验室答题。”湖北三峡实验室主任池汝安透露,微电子新材料是三峡实验室的研究方向之一,近年来,许多半导体客户表示,因光引发剂遭遇限购和断供,国产光刻胶多次被“卡脖子”,给国内半导体产业链的生产带来极大压力。
主攻芯片蚀刻电子级磷酸、电子级硫酸等产品的兴福电子,希望切入光引发剂产业赛道,但从0到1的研发风险却成了难题。“一旦研发失败,巨大的投入和时间成本,将令企业难以承受。”兴福电子总工程师贺兆波表示,企业想到了三峡实验室。
兴福电子提出研发需求意向后,三峡实验室当即决定开展光引发剂关键技术的攻关。“面向产业需求做研发,本就是湖北实验室的特色和使命。”池汝安说。
在历经三年研发攻坚后,今年5月,上海一家光刻胶龙头企业回复三峡实验室:“送样各项指标与国外进口厂商达到同一水平。”随后,中试样品在多家光刻胶企业都通过了初轮验证,相关技术终于具备产业化条件。
池汝安介绍,该成果已进入产业化前期阶段,投产后将成为湖北第一条光刻胶用光引发剂生产线,对我国光刻胶产业发展将起到积极作用。
据了解,兴福电子已启动相关产业化项目建设,建成后将成为全省第一条光刻胶用光引发剂生产线,同时,该项目将与湖北省下游光刻胶生产企业及存储芯片制造企业等形成联动,进一步打通技术成果从“实验室”到“生产线”的堵点,构建起“上游材料—中游光刻胶—下游芯片制造”完整链条,实现技术研究与产品应用的互促互进,为湖北打造万亿级光电子信息产业集群提供有力支撑。项目达产达效后,国产G/I线光刻胶产品国内市场占有率有望达到50%以上。
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